德国Physik Instrumente精密移台 Z向位

德国Physik Instrumente精密移台 Z向位

一、Physik Instrumente应用领域

样本操纵、样本定位、高精度和高稳定性光学或机械部件、半导体行业中的精密机械部件、显微操纵、显微镜、自动化、有限空间内的应用、真空或无磁性环境中的应用。

 二、Physik Instrumente产品详情

利用交叉滚柱轴承，滚珠轴承中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此，它们的刚度明显提高，需要的预载更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱轴承的另一个特征是高导向精度和负载能力。滚动主体架的受迫导向防止滚柱轴承发生蠕变

三、产品展示

规格参数

主动轴：Z

行程：6.5毫米

系统分辨率: 0.5纳米

集成传感器: PIOne线性编码器：增量，光学，直 接测量

传感器分辨率: 0.5纳米

较小位移:1纳米

速度，闭环:2.5毫米/秒

单向重复精度:6纳米

双向重复性:7纳米

Z向运动时X向上的线性串扰:1.8微米

Z向运动时Y向上的线性串扰:2微米

Z向运动时θX向上的转动串扰:25微弧度

Z向运动时θY向上的转动串扰:41微弧度

Z向运动时θZ向上的转动串扰:34微弧度

负载容量:25牛

电机类型: NEXACT压电陶瓷步进驱动器

驱动力:20牛

保持力（被动）:25牛

工作电压:-10到45伏

工作温度范围: 10至50 °C

质量: 920克

材料: 铝，阳极氧化致黑

电缆长度:3米

连接器: HD Sub-D 15针（公头）

传感器连接器: Sub-D 15（母头）

推荐电控: E-861.1A1

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